Sistemi di nanoposizionamento SmarAct

Ripetibilità: 50 nm
Corsa: 11, 6 mm

... Lo SMARPOD 70.42, di dimensioni ridotte, è il sistema più compatto, con un diametro della piastra di base di soli 70 mm e un peso di soli 200 g. Lo SMARPOD 70.42 è il più piccolo sistema di movimento ...

Ripetibilità: 50 nm
Corsa: 11, 20 mm

... complessive del sistema completo possono essere maggiori per pose diverse. Per ulteriori informazioni, consultare il modello CAD nell'area download. La ripetibilità è misurata a circa 20 mm sopra la piastra superiore ...

Ripetibilità: 50 nm
Corsa: 42, 24 mm

... altri componenti vicino alla piattaforma mobile dello SMARPOD. I valori della corsa di rotazione sono indicati per un punto di rotazione sulla superficie della piastra superiore. Le dimensioni complessive del sistema ...

Ripetibilità: 50 nm
Corsa: 30, 50, 10 mm

... complessive del sistema completo possono essere maggiori per pose diverse. Per ulteriori informazioni, consultare il modello CAD nell'area download. La ripetibilità è misurata a circa 20 mm sopra la piastra superiore ...

Ripetibilità: 50 nm
Corsa: 17, 102, 62 mm

... complessive del sistema completo possono essere maggiori per pose diverse. Per ulteriori informazioni, consultare il modello CAD nell'area download. La ripetibilità è misurata a circa 20 mm sopra la piastra superiore ...

Ripetibilità: 100 nm
Corsa: 17, 62, 330 mm

... complessive del sistema completo possono essere maggiori per pose diverse. Per ulteriori informazioni, consultare il modello CAD nell'area download. La ripetibilità è misurata a circa 20 mm sopra la piastra superiore ...

... Prestazioni eccezionali Completamente codificato con risoluzione di 1 nm Mantenimento attivo della posizione Ampio campo di scansione e bassa deriva termica Sondaggio di un'ampia area su 30 x 30 mm Imaging EBAC/EBIC ad alta velocità ...