Sistema di nanoposizionamento multiassiale SMARPOD P-SLL

esapode

Lo SMARPOD P-SLL utilizza tre carrelli della serie SLL per realizzare lunghe corse. Lo SMARPOD P-SLL è basato su stadi SLC per il movimento in direzione Y e uno stadio SLL in direzione X. Grazie a questa specifica combinazione di diversi stadi lineari, il P-SLL offre una corsa estremamente ampia nella direzione X fino a 1200 mm, mantenendo un ingombro ridotto nella direzione Y. È disponibile anche in versione compatibile con l'alto vuoto. Meccanico Corsa [mm] - 20 ... 1200 (X); 45 ... 119 (Y); ≤ 16 (Z) Corsa [ - ≤ 42 (Θx); ≤ 33 (Θy); ≤ 42 (Θz) Max. Forza normale [N] - 10 Max. Forza orizzontale [N] - 5 Dimensioni [mm] - > 250 x 93 Altezza della piattaforma da terra [mm] - 67,5 Peso [g] - 300 ... 2000 Anello chiuso Tipi di sensori - S; SC Incremento più piccolo [nm] - 1 Incremento più piccolo [µrad] - 1 Ripetibilità ad anello chiuso, corsa completa MCS2 [nm] - < ± 200 Ripetibilità ad anello chiuso, corsa 1 mm MCS2 [nm] - < ± 10 Ripetibilità a circuito chiuso, corsa completa MCS2 [µrad] - < ± 15 Opzioni Opzioni di vuoto - HV (1E-6 mbar)