Sistema di nanoposizionamento multiassiale SMARPOD 225.75

esapodea cinematica parallelasotto alto vuoto

Lo SMARPOD 225.75 è basato su un sofisticato design cinematico parallelo ed è in grado di gestire carichi utili fino a 10 N. Lo SMARPOD 225.75 è uno dei più grandi SMARPOD SmarAct che offre un'ampia gamma di corse di oltre 40 mm in X e Y. Come opzione, la piastra di base può essere dotata di montanti per il posizionamento di utensili, sensori o altri componenti vicino alla piattaforma mobile dello SMARPOD. Come gli altri SMARPOD SmarAct, anche il 225.75 è disponibile in versione per alto e ultra alto vuoto o in materiali completamente amagnetici. Meccanico Corsa [mm] - 41 (X); 41 (Y); 21 (Z) Corsa [ - 20 (Θx); 23 (Θy); 41 (Θz) Max. Forza normale [N] - 10 Max. Forza orizzontale [N] - 5 Dimensioni [mm] - Ø 225 Altezza della piattaforma da terra [mm] - 75 Peso [g] - 1000 Anello chiuso Tipi di sensori - S; SC Incremento più piccolo [nm] - 1 Incremento più piccolo [µrad] - 1 Ripetibilità ad anello chiuso, corsa completa MCS2 [nm] - < ± 200 Ripetibilità ad anello chiuso, corsa 1 mm MCS2 [nm] - < ± 10 Ripetibilità a circuito chiuso, corsa completa MCS2 [µrad] - < ± 15 Opzioni Opzioni di vuoto - HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar) Opzione non magnetica - Sì (-NM)