Sistema di posizionamento moduli combinati ZT

3 assiXYverticale

Il modulo box ZT offre due gradi di libertà - Z e Theta - in un'unica unità, con regolazioni dell'asse Z sia grossolane che fini. Progettato per applicazioni di controllo dei processi wafer, può funzionare in modo indipendente o essere montato su una piattaforma XY. Questo modulo offre funzionalità versatili di controllo del movimento, con rotazione infinita e alimentazione del vuoto integrata a livello del mandrino del wafer. Incorpora un compensatore di gravità ed è compatibile con la camera bianca ISO 1, rendendolo ideale per la metrologia di film sottili e per le dimensioni critiche nella produzione di semiconduttori. Con un asse Z grossolano con una corsa di 12 mm per il carico/scarico dei wafer e un asse Z fine con una corsa di 4 mm per la regolazione della messa a fuoco, questo modulo assicura un posizionamento preciso e stabile. Inoltre, offre eccellenti prestazioni in termini di jitter Z e di spostamento e assestamento. Caratteristiche Accelerazione: Z: 2m/s², CZ: 1m/s² e Theta 104,7 rad/s² Ecco le caratteristiche principali: Rotazione infinita Offre una rotazione continua per un posizionamento versatile. Alimentazione del vuoto integrata Canale del vuoto integrato all'interfaccia del mandrino per wafer. Compensatore di gravità riduce al minimo la dissipazione di potenza e migliora la precisione. Compatibilità con la camera bianca Compatibilità con la camera bianca ISO 1 grazie all'aspirazione a vuoto. Assi Z grossolani e fini Gli assi Z grossolano e Z fine integrati consentono un design compatto. Opzioni di personalizzazione Versione senza asse Z grossolano disponibile per soddisfare requisiti specifici. Prestazioni eccellenti Offre un ottimo jitter Z e tempi di spostamento e assestamento molto brevi.