Forno di ricottura 200

di ossidazionea diffusionea campana

Dai piccoli esperimenti e ricerche (R&S) alla produzione di massa, i forni possono essere progettati per soddisfare le esigenze degli utenti. I forni orizzontali possono essere utilizzati per la produzione di batterie solari, sistemi fotovoltaici e wafer di silicio. Dall'uso sperimentale alla produzione di massa, sono disponibili diverse configurazioni di attrezzature Lotti: è possibile elaborare da 25 a 150 wafer configurazione del forno da 1 a 4 pile per sfruttare il limitato spazio disponibile sono disponibili wafer di dimensioni da 2 a 8 pollici e 300 mm Il riscaldatore LGO per le temperature basse e medio-alte, il riscaldatore HGC per le alte temperature sono forniti per eccellenti prestazioni di temperatura Configurazione dell'apparecchiatura proposta in base alle esigenze del cliente, in funzione dell'utilizzo, dello spazio e del budget Sistema di controllo semplice e ben equipaggiato Questi forni orizzontali possono essere progettati per soddisfare le richieste degli utenti, che vanno dalla sperimentazione e ricerca (R&S) di wafer da 3, 4, 6 e 8 pollici e celle quadrate da 125 e 156 mm alla produzione di massa. Oltre che per i wafer di silicio, i forni possono essere utilizzati per la produzione di batterie solari e sistemi fotovoltaici (PV) mediante diffusione del fosforo, diffusione del boro, ossidazione pirogenica, ossidazione a umido, ossidazione a secco, ricottura, ecc. utilizzando POCl3, BBr3, ecc.