Questo forno orizzontale è adatto alla produzione di batterie solari e celle fotovoltaiche (PV). è possibile lavorare in massa da 100 a 156 wafer quadrati in lotti da 200 a 400 wafer ciascuno.
Caratteristiche
Quota numero 1 nel mercato nazionale
Gestisce wafer quadrati da 100 a 200 mm
Possibilità di lavorare in lotti da 200 a 400 wafer (a seconda della lunghezza della zona piatta e del passo del wafer)
Riscaldamento e raffreddamento rapidi, potenza ridotta grazie all'esclusivo riscaldatore LGO di KTS
Questo forno orizzontale per la produzione di batterie solari e celle fotovoltaiche (PV) lavora celle fotovoltaiche quadrate da 125 e 156 mm e wafer da 6 e 8 pollici. È il forno ottimale per la produzione di batterie solari e celle fotovoltaiche (PV) e può eseguire la diffusione del fosforo, la diffusione del boro, l'ossidazione pirogenica, l'ossidazione a umido, l'ossidazione a secco, la ricottura e altri processi termici del sistema cristallino utilizzando POCl3, BBr3 e altri materiali.
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