per anello chiuso (risoluzione fino a 50 nm)
per il sistema NOVA
Stadi di traslazione miniaturizzati con azionamento piezoelettrico inerziale per il sistema NOVA. Edizione standard
Dati tecnici
Larghezza - 70 mm
Altezza - 20 mm
Profondità - 70 mm
Velocità - 1 mm/s
Carico massimo
Momento (Mx) - 5 Ncm
Momento (My) - 5 Ncm
Momento (Mz) - 5 Ncm
Forza di blocco (Fx) - 9 N
Forza portante (Fy, Fz) - 30 N
Precisione di guida
Angolo di imbardata - 20 secondi d'arco
Angolo di beccheggio - 60 secondi d'arco
Deviazione verticale - 1 um
Deviazione laterale - 2 um
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