per condizioni di alto vuoto fino a 10^(-9) mbar
alloggiamento particolarmente piatto (altezza 11 mm)
Stadi di traslazione miniaturizzati con azionamento inerziale piezoelettrico. Edizione UHV del DS 40.
Dati tecnici
Larghezza - 40 mm
Altezza - 11 mm
Profondità - 40 mm
Momento (Mx) - 5 Ncm
Momento (My) - 5 Ncm
Momento (Mz) - 5 Ncm
Forza di blocco (Fx) - 4,5 N
Forza portante (Fy, Fz) - 30 N
Precisione di guida
Angolo di imbardata - 20 secondi d'arco
Angolo di beccheggio - 60 secondi d'arco
Deviazione verticale - 1 um
Deviazione laterale - 2 um
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