design compatto per applicazioni UHV
combinazione xy senza piastra di adattamento
Stadi di traslazione miniaturizzati di dimensioni ultra ridotte con azionamento inerziale piezoelettrico per applicazioni UHV.
Dati tecnici
Larghezza - 22 mm
Altezza - 7 mm
Profondità - 15 mm
Carico massimo
Momento (Mx) - 4,5 Ncm
Momento (My) - 1,5 Ncm
Momento (Mz) - 3,2 Ncm
Forza di blocco (Fx) - 3 N
Forza portante (Fy, Fz) - 20 N
Precisione di guida
Angolo di imbardata - 20 secondi d'arco
Angolo di beccheggio - 60 secondi d'arco
Deviazione verticale - 1 um
Deviazione laterale - 2 um
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