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Piastra di posizionamento lineare MS15
a motorepiezoelettrica3 assi

Piastra di posizionamento lineare - MS15 - mechOnics ag - a motore / piezoelettrica / 3 assi
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Caratteristiche

Orientazione
lineare
Tipo
a motore, piezoelettrica
Numero di assi
3 assi
Altre caratteristiche
compatta, in miniatura, vuoto-compatibile
Corsa

3,5 mm
(0,138 in)

Velocità

1,5 mm/s

Carico

6 g
(0,21 oz)

Descrizione

per condizioni di altissimo vuoto fino a 10^(-9) mbar design ultra compatto ingombro di 15 x 15 mm Stadi di traslazione miniaturizzati ultra piccoli con azionamento inerziale piezoelettrico. Edizione UHV di MS15. Dati tecnici Larghezza - 15 mm Altezza - 7 mm Profondità - 15 mm Carico massimo Momento (Mx) - 4 Ncm Momento (My) - 4 Ncm Momento (Mz) - 4 Ncm Forza di blocco (Fx) - 3 N Forza portante (Fy, Fz) - 20 N Precisione di guida Angolo di imbardata - 20 secondi d'arco Angolo di beccheggio - 60 secondi d'arco Deviazione verticale - 1 um Deviazione laterale - 2 um

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