- per temperature bassissime fino a 4K
- per condizioni di alto vuoto fino a 10^(-9) mbar
Stadi di traslazione miniaturizzati per bassissime temperature con azionamento piezoelettrico inerziale. Edizione UHV del modello ML 17.
Dati tecnici
Larghezza - 17 mm
Altezza - 8 mm
Profondità - 32 mm
Carico massimo
Momento (Mx) - 3 Ncm
Momento (My) - 3 Ncm
Momento (Mz) - 3 Ncm
Forza di blocco (Fx) - 1 N
Forza portante (Fy, Fz) - 1 N
Precisione di guida
Angolo di imbardata - 20 secondi d'arco
Angolo di beccheggio - 60 secondi d'arco
Deviazione verticale - 2 um
Deviazione laterale - 1 um
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