Piastra di posizionamento di traslazione MS30

piezoelettricain miniatura

per il funzionamento ad anello chiuso (risoluzione fino a 50nm) combinazioni multiasse senza piastre di adattamento Stadio di traslazione miniaturizzato con azionamento piezoelettrico inerziale con sistema di misura. Dati tecnici Larghezza - 52 mm Altezza - 12,5 mm Profondità - 30 mm Velocità - 1,2 mm/s Carico massimo Momento (Mx) - 5 Ncm Momento (My) - 5 Ncm Momento (Mz) - 5 Ncm Forza di blocco (Fx) - 4,5 N Forza portante (Fy, Fz) - 30 N Precisione di guida Angolo di imbardata - 170 secondi d'arco Angolo di beccheggio - 160 secondi d'arco Deviazione verticale - 3 um Deviazione laterale - 3 um Informazioni sulla misurazione Segno di riferimento - centrale Risoluzione - da 1um a 50 nm Tensione di alimentazione - 5 V Consumo di energia - 150 mA