per condizioni di alto vuoto fino a 10^(-9) mbar
apertura libera di 10 mm per il passaggio dei raggi
Stadi di traslazione miniaturizzati con apertura libera di 10 mm e azionamento piezoelettrico inerziale. Edizione UHV di MS 38.
Dati tecnici
Larghezza - 38 mm
Altezza - 9,5 mm
Profondità - 40 mm
Carico massimo
Momento (Mx) - 4 Ncm
Momento (My) - 4 Ncm
Momento (Mz) - 4 Ncm
Forza di blocco (Fx) - 4,5 N
Forza portante (Fy, Fz) - 20 N
Precisione di guida
Angolo di imbardata - 20 secondi d'arco
Angolo di beccheggio - 60 secondi d'arco
Deviazione verticale - 1 um
Deviazione laterale - 2 um
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