per i termini di alto vuoto fino a 10^ (- 9) mbar
un viaggio di 8 millimetri ad un'orma di 38 x 42 millimetri
un'apertura libera di 10 millimetri per il passaggio del raggio
Fasi miniatura di translastion con il diametro libero 10mm di apertura e l'azionamento inerziale elettrico piezo-elettrico. Edizione di UHV del ms 38.
---