per i termini di vuoto alto fino a 10^ (- 6) mbar
un viaggio di 8 millimetri ad un'orma di 38 x 42 millimetri
un'apertura libera di 10 millimetri per il passaggio del raggio
Fasi miniatura di translastion con il diametro libero 10mm di apertura e l'azionamento inerziale elettrico piezo-elettrico. Edizione di Vaccuum del ms 38.
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