per i termini di alto vuoto fino a 10^ (- 9) mbar
un viaggio di 8 millimetri ad un'orma di 30 x 30 millimetri
particolarmente alloggio piano (altezza di 10mm)
Fasi miniatura di traduzione con azionamento inerziale elettrico piezo-elettrico. Edizione di UHV del DS 30.
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