Sistema di metrologia per wafer OCD

La tecnologia OCD Solutions ottimizza l'intera capacità e la connettività dei sistemi Atlas e IMPULSE per la metrologia ottica delle dimensioni critiche (OCD) Panoramica del prodotto La tecnologia OCD di Onto Innovation offre una potente modellazione OCD e una capacità avanzata di apprendimento automatico, oltre a strumenti di regressione in tempo reale di nuova generazione, di analisi della sensibilità offline, nonché un'interfaccia grafica completa e l'inserimento di strutture per una vera modellazione multivariata. Entrambi i pacchetti software Ai Diffract e SpectraProbe offrono funzionalità avanzate in fattori hardware intuitivi e facili da implementare. Ciascun componente estende le funzionalità OCD ai sistemi metrologici Atlas standalone e integrati in IMPULSE, dal supporto e sviluppo di ricette offline alla rete e alla connettività a livello di fabbrica per una facile gestione del parco macchine. Software Ai Diffract Software di modellazione e analisi OCD guidato dall'intelligenza artificiale per la metrologia ottica in linea ad alta precisione e lo sviluppo di ricette offline Il software Ai Diffract è un potente software di modellazione, visualizzazione e analisi con un'interfaccia di modellazione 3D intuitiva che semplifica la costruzione e la visualizzazione dei dispositivi a semiconduttore più complessi di oggi. Gli algoritmi di fitting proprietari del software Ai Diffract consentono calcoli rapidi e accurati per l'elaborazione del segnale per misure ad alta fedeltà basate su modelli. Le funzioni di automazione per il fitting spettrale, l'ottimizzazione delle ricette e l'analisi della sensibilità offrono una grande produttività all'utente. Il motore guidato dall'intelligenza artificiale, primo sul mercato, sinergizza la modellazione basata sulla fisica e l'apprendimento automatico per offrire la soluzione più robusta con tempi di realizzazione rapidi.