Gli stadi scanner per nanoposizionamento SMARFLEX sfruttano i vantaggi delle flessioni meccaniche piezoelettriche per realizzare operazioni di posizionamento estremamente precise fino a diversi 100 μm.
Il PLF3232-x.60 offre un intervallo di scansione di 60 μm in direzione X. Con un peso di 30 g, è molto leggero e anche piuttosto compatto, con dimensioni di 32 x 32 x 12 mm.
Specifiche tecniche
Campo di scansione [µm] - > 60
Forza normale [N] - 5,0 Forza normale [N] - 5,0
Dimensioni [mm] - 32 x 32 x 12
Peso [g] - 30
Materiale
Materiale della base - Titanio (-TI) / Base in alluminio (-Al)
Anello aperto
Risoluzione ad anello aperto MCS2 [nm] - MCS2: <1
A circuito chiuso
Risoluzione del sensore MCS2 [nm] - MCS2: 1 (S)
Opzioni
Opzioni per il vuoto - HV (10-⁶ mbar)
Opzione non magnetica - Sì (- NM)
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