Piastra di nanoposizionamento Z PLF3232-z.60

piezoelettricacompattaalluminio

Gli stadi scanner per nanoposizionamento SMARFLEX sfruttano i vantaggi delle flessioni meccaniche piezoelettriche per realizzare operazioni di posizionamento estremamente precise fino a diversi 100 μm. Il PLF3232-z.60 offre un range di scansione di oltre 60 μm in direzione Z. Con un peso di 30 g, è molto leggero e anche piuttosto compatto, con dimensioni di 32 x 32 x 15 mm. Specifiche tecniche Campo di scansione [µm] - > 60 Forza normale [N] - 5,0 Forza normale [N] - 5,0 Dimensioni [mm] - 32 x 32 x 15 Peso [g] - 30 Materiale Materiale della base - Titanio (-TI) / Base in alluminio (-Al) Anello aperto Risoluzione ad anello aperto MCS2 [nm] - MCS2: <1 - A circuito chiuso Risoluzione del sensore MCS2 [nm] - MCS2: 1 (S) - Opzioni Opzioni per il vuoto - HV (10-⁶mbar) Opzione non magnetica - Sì (- NM)