Piastra di nanoposizionamento lineare PLF5252-x.200

piezoelettrica1 assecompatta

Gli stadi scanner per nanoposizionamento SMARFLEX sfruttano i vantaggi delle flessioni meccaniche piezoelettriche per realizzare operazioni di posizionamento estremamente precise fino a diversi 100 μm. Il PLF5252-x.200 offre un campo di scansione di oltre 200 μm nella direzione X. Con un peso di 90 g, è molto leggero e anche piuttosto compatto, con dimensioni di 52 x 52 x 15 mm. Specifiche tecniche Campo di scansione [µm] - > 200 Forza normale [N] - 5,0 Forza normale [N] - 5,0 Dimensioni [mm] - 52 x 52 x 15 Peso [g] - 90 Materiale Materiale base - Titanio (-TI) / Base in alluminio (-Al) - Anello aperto Risoluzione ad anello aperto MCS2 [nm] - MCS2: <1 - A circuito chiuso Risoluzione del sensore MCS2 [nm] - MCS2: 1 (S) - Opzioni Opzioni per il vuoto - HV (10-⁶mbar) Opzione non magnetica - Sì (- NM)