Passaparete per forni e stufe

per strumento di misuraper riscaldamentoper alimentazione elettrica

Panoramica
Nei sistemi a vuoto, i passaggi elettrici per vuoto forniscono un percorso elettrico ermetico dall'atmosfera all'interno del vuoto preservando l'integrità della cavità. Vengono impiegati per alimentare riscaldatori, alimentatori ad alta tensione e processi con fasci di particelle in condizioni di vuoto alto e ultra-alto.

Nucleo del progetto: tenuta, isolamento e capacità di corrente

• Realizzati mediante brasatura ceramica-metallo consolidata per ottenere giunzioni ermetiche a livello atomico, adatte al vuoto spinto e UHV; prestazioni stabili durante i cicli di baking ad alta temperatura.
• Struttura meccanica ed elettrica basata su flange in acciaio inox 304/316L compatibili con interfacce CF, KF e ISO; conduttori in rame senza ossigeno, leghe rame-nichel o Kovar; placcature in oro o nichel opzionali per ridurre la resistenza di contatto; isolanti in allumina (Al2O3) ad alta purezza per isolamento elettrico e stabilità termica.
• Configurazioni elettriche flessibili che supportano disposizioni a conduttore singolo, doppio e multi-conduttore; disponibili in varianti ad alta corrente, alta tensione o combinate — configurabili per centinaia di ampere o decine di kilovolt a seconda della progettazione.

Vantaggi principali

• Tenuta ermetica: legame metallurgico ceramica-metallo che elimina percorsi di perdita, preservando il livello di vuoto e la purezza del processo.
• Ampia possibilità di personalizzazione: tensione, corrente, numero di conduttori, tipo di flangia e dimensioni di installazione configurabili in base alle esigenze del sistema.
• Resistenza a ambienti gravosi: ampia gamma di temperature operative, tolleranza all'irraggiamento da particelle, compatibile con plasma e atmosfere corrosive.
• Integrazione standardizzata: conforme agli standard internazionali di flange per vuoto per un'installazione diretta e una riduzione dei tempi di integrazione.
• Basso outgassing e lunga durata: costruzione con materiali inorganici con emissione di gas minima e invecchiamento trascurabile.

Scenari applicativi tipici

• Apparecchiature di deposizione sotto vuoto PVD/CVD: connessione di alimentazione per riscaldatori o alimentazioni anodo-catodo.
• Forni a vuoto e sistemi di trattamento termico: passaggi per elementi riscaldanti e moduli interni di alimentazione/controllo.
• Sistemi a fascio di elettroni e ioni: erogazione di potenza ad alta tensione o ad alta corrente in camere evacuate per accelerazione o deposizione.
• Strumenti di prova e analisi sotto vuoto: connessioni elettriche multicanale per SEM, spettrometri di massa e apparecchiature analoghe.

Note
Il prodotto combina ingegneria del vuoto, scienza dei materiali e tecniche di brasatura precise con progettazione dell'isolamento ad alta tensione; le prestazioni influenzano la capacità di processo, l'affidabilità e la sicurezza delle apparecchiature a vuoto.

Specifiche / caratteristiche tecniche

• Tenuta: brasatura ceramica-metallo che fornisce giunzioni ermetiche a livello atomico per vuoto spinto e UHV.
• Compatibilità flange: interfacce standard CF, KF e ISO; flange tipicamente in acciaio inox 304/316L.
• Materiali dei conduttori: rame senza ossigeno, leghe rame-nichel, Kovar; placcatura in oro o nichel opzionale per ridurre la resistenza di contatto.
• Materiale isolante: ceramica di allumina (Al2O3) ad alta purezza per isolamento affidabile e stabilità termica.
• Configurazioni elettriche: disposizioni mono, doppie e multi-conduttore; configurabile come alta corrente (centinaia di A), alta tensione (decine di kV) o tipi combinati.
• Tolleranza ambientale: ampia gamma di temperature operative; resistente all'irraggiamento particellare; compatibile con plasma e atmosfere corrosive.
• Outgassing e longevità: costruzione inorganica con emissione di gas estremamente bassa e invecchiamento minimo.
• Personalizzazione: tensione, corrente, numero di conduttori, tipo di flangia e dimensioni di installazione disponibili su richiesta.