Passaparete a vuoto

multipli passaggisingolo passaggioresistente ai prodotti chimici

Panoramica
I componenti di tenuta ceramica‑metallo di Innovacera, inclusi i passaggi ceramici per il vuoto, uniscono isolanti in allumina ad alta purezza a perni metallici lavorati con precisione. L'innesto ermetico e permanente si ottiene tramite brasatura in vuoto ad alta temperatura. Questi passaggi sono progettati per applicazioni in alto vuoto e ultra‑alto vuoto e per condizioni operative gravose, garantendo stabilità contro gli shock termici, le sollecitazioni meccaniche e le cotture prolungate. Consentono la trasmissione di segnali, l'ingresso di potenza e le uscite dei sensori in sistemi a vuoto impiegati in strumenti scientifici e attrezzature industriali come spettrometri di massa, tubi CT, microscopi elettronici, acceleratori di particelle, metallurgia sotto vuoto, deposizione di semiconduttori e camere di simulazione spaziale.

Struttura e materiali

• Isolante ceramico: allumina ad alta purezza (≥95% Al2O3) con eccellenti proprietà di isolamento elettrico, resistenza termica e stabilità chimica
• Perni/aste metallici: acciaio inossidabile, molibdeno, Kovar o leghe a base di nichel (opzionali) per soddisfare diversi requisiti di dilatazione termica
• Metodo di tenuta: brasatura in vuoto ad alta temperatura (brasatura eutettica metallo‑ceramica), formando un giunto permanente e gas‑ermetico
• Forma strutturale: progetti multipin (2, 3, 4 pin o personalizzati), disponibili in configurazioni assiali o con flangia

Vantaggi

• Eccellenti prestazioni di tenuta al vuoto
• Elevata resistenza a temperature elevate e cicli termici
• Buone proprietà di isolamento
• Affidabilità a lungo termine
• Elevata possibilità di personalizzazione

Applicazioni tipiche

• Forni a vuoto e sistemi di riscaldamento sotto vuoto ad alta temperatura
• Apparecchiature per rivestimenti sotto vuoto e processi al plasma
• Dispositivi a vuoto per semiconduttori e ricerca
• Sensori per alto vuoto e componenti elettro‑vacuum

Specifiche tecniche

• Materiale ceramico: ≥95% allumina (Al2O3)
• Processo di tenuta: brasatura in vuoto ad alta temperatura
• Vuoto operativo: alto vuoto / ultra‑alto vuoto
• Tasso di perdita: ≤10⁻⁹ mbar·L/s
• Temperatura operativa: fino a 300–800°C (dipendente dalla struttura)
• Numero di pin: 1–4 pin (personalizzabile)
• Resistenza di isolamento: ≥10⁹ Ω
• Tipo di montaggio: flangia / passaggio / su misura