PanoramicaIl passaggio per vuoto schermato di Innovacera è un elettrodo attraversante progettato per la trasmissione affidabile di alta tensione nelle camere a vuoto mantenendo una tenuta ermetica ceramica‑metallo. Integra uno schermo a massa per sopprimere le interferenze dei campi ad alta tensione e ridurre i rischi di perdita e di guasto elettrico in sistemi a vuoto e applicazioni HV di precisione.
Caratteristiche principali- Schermo integrato collegato a terra per la soppressione delle EMI e l'isolamento dei campi ad alta tensione
- Classe elettrica: 5 kV CC / 3,6 A
- Scocca saldabile in acciaio inossidabile 304 per fissaggio permanente alla parete della camera
- Tenuta ermetica ceramica‑metallo
- Opzione struttura saldata senza tappo disponibile
- Progettato per minimizzare le perdite e prevenire i guasti elettrici in ambienti sotto vuoto
Materiali (opzioni disponibili)- Allumina (Al2O3)
- Nitruro di alluminio (AlN)
- Zirconia (ZrO2)
- Nitruro di boro (BN)
- Carburo di silicio (SiC)
- Nitruro di silicio (Si3N4)
- Ceramiche porose
- Vetroceramiche lavorabili
- Allumina rinforzata con zirconia (ZTA)
Applicazioni- Apparecchiature per il processo dei semiconduttori
- Spettrometri di massa
- Sistemi a ultra alto vuoto (UHV)
- Strumenti di ottica e fotonica
- Apparecchiature di prova elettriche ed elettroniche
- Sistemi energetici che richiedono attraversamenti HV
- Strumenti medici e per le scienze della vita
- Apparecchiature di ricerca e laboratori sotto vuoto
- Altre apparecchiature HV di precisione in ambiente vuoto
Punti funzionali frequentemente segnalati- La scocca saldabile in acciaio 304 consente la saldatura diretta alla parete della camera per una tenuta ermetica UHV permanente
- Lo schermo a massa riduce il rischio di perdite e diminuisce la probabilità di guasto elettrico in condizioni HV e vuoto
Specifiche tecniche- Classe elettrica: 5 kV CC, 3,6 A
- Materiale della scocca: acciaio inossidabile 304 (saldabile)
- Tenuta: tenuta ermetica ceramica‑metallo
- Struttura: saldata, opzione struttura senza tappo disponibile
- Pressione massima (resistenza): 1400 PSIG @ 20°C
- Temperatura di lavoro (configurazione senza tappo): -269°C a 450°C
- Temperatura di lavoro (con tappo): -65°C a 165°C
- Benefici principali: soppressione EMI, isolamento dei campi HV, perdita minimizzata, prevenzione dei guasti elettrici
- Ambienti d'uso tipici: camere a vuoto, sistemi UHV, apparecchiature per semiconduttori, spettrometri di massa