PanoramicaIl passaggio alta tensione per vuoto INNOVACERA è un dispositivo di penetrazione elettrica progettato per ambienti ad alto vuoto. Trasmette in modo ermetico potenza o segnali ad alta tensione dall'atmosfera all'interno di una camera a vuoto mantenendo l'integrità del vuoto e le prestazioni di isolamento. L'isolante è in ceramica di allumina 95% combinata con parti metalliche (acciaio inossidabile 304, rame OFC, lega Kovar) per garantire stabilità in condizioni di processo impegnative.
Applicazioni- Sistemi laser excimer: soluzione affidabile di alimentazione ad alta tensione per la cavità di scarica
- Semiconduttori e optoelettronica: fotolitografia, lavorazione dei wafer, produzione di componenti ottici, scrittura di reticoli su fibra
- Display: ricottura LTPS, lavorazioni di schermi flessibili
- Automotive: trattamento superficiale dei cilindri motore, sistemi di attivazione degli airbag
- Nuove energie e ricerca: produzione di celle fotovoltaiche, modifica di superfici, esperimenti di laboratorio
Struttura e materiali del prodotto- Isolante: ceramica di allumina 95% — elevata resistenza dielettrica, resistenza alle alte temperature, basso outgassing
- Conduttore/Pin: lega Kovar o rame senza ossigeno (OFC) — compatibilità delle dilatazioni termiche ed eccellente conducibilità
- Scocca/Flangia: acciaio inossidabile 304 o lega Kovar — resistente alla corrosione, saldabile, compatibile con il vuoto
Specifiche tecniche- Materiale isolante: ceramica Al₂O₃ 95%
- Parti metalliche: acciaio inox 304 / lega Kovar / rame privo di ossigeno
- Campo di tensione: 1 kV – 30 kV (tensioni superiori disponibili su richiesta)
- Temperatura di esercizio: -40°C a +300°C (personalizzabile)
- Tasso di perdita di elio: ≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s
- Resistenza di isolamento: >10¹² Ω
- Opzioni flangia/connettore: CF, KF o personalizzate
Caratteristiche principali- Trasmissione ermetica di alta tensione per applicazioni in vuoto spinto
- Elevata resistenza dielettrica e basso outgassing grazie all'isolante in allumina 95%
- Materiali selezionati per la compatibilità delle dilatazioni termiche e la tenuta in vuoto
- Possibilità di personalizzazione per tensione, tipo di flangia e intervallo di temperatura
- Produzione e collaudo per garantire bassa perdita di elio e alta resistenza di isolamento
Personalizzazione e ordine- Tensione, configurazione dei pin, tipo di flangia (CF/KF/su misura) e intervallo di temperatura possono essere adattati alle esigenze
- Progetti per tensioni più elevate e materiali speciali disponibili su richiesta
- Documentazione fornita: rapporto di prova di tenuta, certificati dei materiali e dati di prova elettrica