Piastre di posizionamento piezoelettriche Steinmeyer

Corsa: 1 mm - 300 mm
Velocità: 1 mm/s - 10 mm/s
Ripetibilità: 0,015 µm - 5 µm

... LA97 Stadio lineare nanometrico Applicazione: scansione Vantaggi: posizionamento nanometrico, anche in verticale Caratteristiche: posizionamento con estrema risoluzione e massima rigidità può essere ...

Corsa: 1 mm - 10 mm
Velocità: 0,2 mm/s - 10 mm/s
Ripetibilità: 0,2 µm - 5 µm

... ad alta risoluzione Applicazione: microstadio multiuso Vantaggi: per la scansione ad alta risoluzione Caratteristiche: posizionamento ad altissima risoluzione - Vuoto: tutti i campi di pressione HV /UHV fino a 10E-11 ...

Corsa: 1 mm - 50 mm
Velocità: 1 mm/s - 50 mm/s
Ripetibilità: 0,3 µm - 5 µm

... magnetica, a basso magnetismo e senza magnetismo - Diverse varianti di motore: Motore Nanomotion o piezoelettrico - Combinabile con sistema di posizionamento XYZ (ad es. MT105) - Combinabile con stadi ...

Velocità: 180 mm/s - 270 mm/s
Ripetibilità: 0,001 µm - 1 µm
Carico: 3 kg

... di ottenere risoluzioni estremamente elevate nel vuoto durante processi rapidi. La luce trasmessa di 36 mm consente il posizionamento preciso, la misurazione e l'analisi di piccoli campioni. Può essere combinato in sistemi ...

Corsa: 360 mm - 360 mm
Velocità: 200 mm/s - 300 mm/s

... Stadio rotante ad alta risoluzione con grande apertura UHV, DUV / EUV, camera bianca ISO 6, n x 360°, rep 0,0003°, velocità 300°/s, carico 5 kg - Camera bianca: varianti fino alla classe ISO 6 (superiori su richiesta) - Vuoto: tutte ...

Corsa: 10 mm
Velocità: 5 m/s
Ripetibilità: 0,2 µm - 0,3 µm

... molto limitato. Si possono realizzare corse fino a 50 mm. Il manipolatore è dotato di motori piezoelettrici e può quindi realizzare incrementi di posizionamento di pochi nanometri per applicazioni di ...

Corsa: 20 mm - 200 mm
Velocità: 5 mm/s - 10 mm/s
Ripetibilità: 0,02 µm - 30 µm

... precisioneLA97-MT85 Applicazione: Manipolatore multiuso Vantaggi: per la scansione ad alta risoluzione Caratteristiche: Posizionamento ad altissima risoluzione - Vuoto: tutti i campi di pressione HV / UHV fino a 10-11 - ...

Corsa: 25 mm - 50 mm
Velocità: 2,5 mm/s - 5 mm/s
Ripetibilità: 0,2 µm - 0,3 µm

... e produzione in serie Campi di applicazione Posizionamento in piccole dimensioni nella camera bianca EUV, ad esempio telecamera, microscopio/sensore (AFM, WLI), misure di transilluminazione, posizionamento ...

Corsa: 1 mm - 10 mm
Velocità: 2,5 mm/s - 5 mm/s
Ripetibilità: 0,2 µm - 0,3 µm

... produzione in serie Campi di applicazione Posizionamento in piccole dimensioni nella camera bianca EUV, ad esempio telecamera, microscopio/sensore (AFM, WLI), misure di transilluminazione, posizionamento ...

Corsa: 1 mm - 100 mm
Velocità: 1 mm/s - 100 mm/s
Ripetibilità: 0,2 µm - 5 µm

... MT105 Applicazione: microstadio multiuso Vantaggi: per la scansione ad alta risoluzione Caratteristiche: posizionamento ad altissima risoluzione - Vuoto: tutti i campi di pressione HV /UHV fino a 10E-11 mbar - Lubrificazione: ...