Il filtro di massa quadrupolare di Innovacera, abbreviato in quadrupolo, è il componente principale dello spettrometro di massa quadrupolare. È solitamente composto da quattro aste metalliche parallele cilindriche o iperboliche. Vengono applicate due coppie di elettrodi: tensione continua (DC, U) e tensione a radiofrequenza (RF, V·cos(ωt)). L'analizzatore di massa quadrupolare separa gli ioni in base alla stabilità della traiettoria ionica nel campo elettrico oscillante.
Tabella dei parametri strutturali:
- Opzioni di materiale: Ceramica placcata oro/Acciaio inossidabile/Molibdeno
- Diametro delle aste: 2-16mm
- Lunghezza delle aste: 100-300mm
- Base: Ceramica di allumina/Ceramica di vetro lavorabile
- Precisione complessiva: ≤3μm
Proprietà del materiale in ceramica di allumina al 99%:
- Colore: Avorio
- Caratteristiche principali: Eccellente resistenza alla corrosione al plasma, alta resistenza all'usura.
- Campo di applicazione: Componenti di apparecchiature semiconduttori, parti resistenti all'usura e alla corrosione.
- Densità: 3.88 g/cm3
- Assorbimento d'acqua: 0%
- Durezza Vickers: 17 HV
- Resistenza alla flessione: 350 MPa
- Resistenza alla compressione: 2450 MPa
- Modulo di Young: 350 GPa
- Coefficiente di Poisson: 0.22
- Tenacità alla frattura: 4-5 MPa·m1/2
- Coefficiente di espansione lineare (40-400°C): 8.2 x10-6/°C
- Conduttività termica (20°C): 25-30 W/(m·k)
- Calore specifico: 0.8 J/(kg·k)x103
- Resistività volumetrica (20°C): >1015 Ω·cm
- Resistenza dielettrica: 20 KV/mm
- Costante dielettrica: 9.2
- Coefficiente di perdita dielettrica: 2 x10-4
- Perdita di peso in acido nitrico (HNO3) (90°C): 1015 Ω·cm, Resistenza dielettrica 20 KV/mm, Costante dielettrica 9.2, Coefficiente di perdita dielettrica 2 x10-4, Temperatura massima di utilizzo 1500°C