Misuratore di vuoto a catodi freddi

a ionizzazionea catodo caldo

Panoramica
Il manometro a ionizzazione per alto vuoto INNOVACERA misura il grado di vuoto per impianti di laboratorio, industriali e di ricerca. Ionizza le molecole di gas in una camera dedicata e misura la corrente risultante di ioni/elettroni per determinare la densità di gas e il livello di vuoto. Disponibile nelle varianti a catodo caldo, catodo freddo e con sorgente radioattiva a seconda dell'applicazione e dell'intervallo di pressione.

Principio di funzionamento
Il manometro è composto da una camera di ionizzazione e da un collettore di elettroni/ioni. Le molecole di gas che entrano nella camera vengono ionizzate tramite filamenti riscaldati, fasci di elettroni o altre sorgenti di ionizzazione. Gli ioni positivi (o gli elettroni, a seconda del progetto) vengono raccolti da un campo elettrico, generando una corrente misurabile proporzionale alla densità delle molecole di gas. Un aumento della corrente misurata corrisponde a una maggiore densità di gas (vuoto inferiore); una diminuzione indica densità minore (vuoto superiore).

Campo di misura

• Usare alta tensione e una camera di ionizzazione più grande per misurazioni a pressioni molto basse
• Usare bassa tensione e una camera più piccola per misurazioni a pressioni più elevate

Intervallo nominale di misura: 0,1 ~ 10^-8 Pa

Specifiche tecniche

• Tipo di prodotto: Manometro a ionizzazione per alto vuoto
• Produttore: INNOVACERA
• Principio di misura: Ionizzazione delle molecole di gas in una camera con raccolta delle cariche; misura della corrente risultante proporzionale alla densità del gas
• Metodi di ionizzazione: Catodo caldo (filamento riscaldato), catodo freddo, fascio di elettroni, sorgente radioattiva (a seconda del tipo)
• Operazione raccomandata: alta tensione + camera grande per pressioni molto basse; bassa tensione + camera piccola per pressioni più elevate
• Intervallo nominale di misura: 0,1 ~ 10^-8 Pa

Applicazioni

• Sistemi di vuoto in laboratorio e strutture di ricerca
• Processi industriali in vuoto: deposizione di film sottili, produzione di semiconduttori, trattamento delle superfici
• Metrologia del vuoto e laboratori di taratura

Installazione e manutenzione
Montare il manometro su una flangia di vuoto compatibile con feedthrough elettrici e adeguata messa a terra. Mantenere la pulizia per evitare contaminazioni della camera di ionizzazione. Calibrare regolarmente rispetto a un riferimento. Sostituire filamenti o sorgenti radioattive secondo le istruzioni del produttore e seguire le procedure di sicurezza per i tipi radioattivi.