Piastre di posizionamento 1 asse Steinmeyer

Corsa: 1 mm - 40 mm
Velocità: 1 mm/s - 200 mm/s
Ripetibilità: 0,3 µm - 5 µm

... LA92 Asse lineare UHV ad alta velocità Applicazione: Applicazioni ad alta risoluzione e scansione veloce Vantaggi: Posizionamento veloce in UHV, anche in verticale Caratteristiche: Risoluzione eccezionale, ...

Corsa: 1 mm - 130 mm
Velocità: 1 mm/s - 10 mm/s
Ripetibilità: 0,4 µm - 5 µm

... all'applicazione - Adattamento individuale alla situazione di installazione nella camera - Versione per camera bianca ISO 14644-1 (fino alla classe 1 su richiesta) - Opzionale con controllore FMC400/450 Dati ...

Corsa: 1 mm - 100 mm
Velocità: 1 mm/s - 10 mm/s
Ripetibilità: 0,4 µm - 5 µm

... ± 1,9 µm (bidirezionale) - Carico: → 44 N / ↑ 120 N - Velocità max. Velocità: 10 mm/s - Motore: Motore passo-passo - Cuscinetti: cuscinetti a rulli incrociati in acciaio inox, ibridi - Feedback: Scala lineare - ...

Corsa: 1 mm - 300 mm
Velocità: 1 mm/s - 10 mm/s
Ripetibilità: 0,015 µm - 5 µm

... LA97 Stadio lineare nanometrico Applicazione: scansione Vantaggi: posizionamento nanometrico, anche in verticale Caratteristiche: posizionamento con estrema risoluzione e massima rigidità ...

Corsa: 1 mm - 185 mm
Velocità: 1 mm/s - 8,4 mm/s
Ripetibilità: 0,4 µm - 5 µm

... fino a 10E-11 mbar - Temperatura massima di cottura: 120°C Dati tecnici - Corsa: 40 mm, 80 mm, 185 mm - Ripetibilità: ± 1,9 µm, ± 0,4 µm (unidirezionale) ± 2,9 µm, ± 0,5 µm (bidirezionale) - Carico: → 45 N / ...

Corsa: 1 mm - 10 mm
Velocità: 0,2 mm/s - 10 mm/s
Ripetibilità: 0,2 µm - 5 µm

... max. Velocità: 0,2 mm/s - Motore: Motore piezoelettrico - Cuscinetti: a rulli incrociati - Feedback: Scala lineare - Risoluzione di feedback: ± 0,1µm ...

Corsa: 1 mm - 16 mm
Velocità: 1 mm/s - 2,2 mm/s
Ripetibilità: 1 µm - 5 µm

... Versione per camera bianca ISO 14644-1 (fino alla classe 1 su richiesta) - Opzionale con controllore FMC400/450 Dati tecnici: - Corsa: 16 mm - Ripetibilità: - ± 1 µm, ± 1,7 ...

Corsa: 1 mm - 16 mm
Velocità: 1 mm/s - 16,6 mm/s
Ripetibilità: 0,7 µm - 5 µm

... ± 4 µm, ± 1 µm (bidirezionale) - Carico: 98 N - Velocità max. Velocità: 16,6 mm/s - Motore: Motore passo-passo - Cuscinetti: cuscinetti a rulli incrociati in acciaio inox, ibridi - Feedback: Scala lineare - ...

Corsa: 1 mm - 25 mm
Velocità: 1 mm/s - 3,4 mm/s
Ripetibilità: 0,3 µm - 5 µm

... Motore: Motore piezoelettrico - Cuscinetti: A rulli incrociati in acciaio inox, ibrido - Feedback: Scala lineare - Risoluzione di retroazione: 1 µm ...

Corsa: 360 mm - 360 mm
Velocità: 200 mm/s - 300 mm/s

... Stadio rotante ad alta risoluzione con grande apertura UHV, DUV / EUV, camera bianca ISO 6, n x 360°, rep 0,0003°, velocità 300°/s, carico 5 kg - Camera bianca: varianti fino alla classe ISO 6 (superiori su richiesta) - Vuoto: tutte ...