Con la Nano Focus Probe, la superficie del pezzo può essere registrata in 3D-nuvola di punti e si possono valutare le dimensioni, modulo, posizione e ruvidità delle microstrutture.misurazione La soppressione della luce parassita consente di ottenere una topografia 3D affidabile anche su superfici riflettenti con deviazioni di tastatura inferiori al micrometro. L'ottica confocale sensore offre buoni risultati anche su fianchi ripidi con ampi angoli di inclinazione.
• Diversi obiettivo permettono di adattare il sensore all'attività da svolgere
• Il sito sensore può essere utilizzato nell'intero sito misurare il volume della macchina di misura a coordinate e i risultati della misurazione possono essere collegati nello stesso sito sistema di coordinate
• Una superficie totale può essere calcolata da diverse nuvole di punti parziali adiacenti quasi senza perdita di precisione
Campo di misura
"Nella foto" -misurazione con asse di misura Z integrato 250 µm
Precisione
Deviazione di sondaggio ammissibile fino a 0,15 µm
Come funziona
Muovendo la testa di misura con a) illuminazione, b) telecamera, c) foro stenopeico e d) ottica di imaging rispetto al pezzo e) si varia l'intensità dei punti luminosi f), g) mediante defocalizzazione. La sovrapposizione dei punti luminosi defocalizzati f) è evitata da grandi distanze g).