Braccio manipolatore in ceramica

per manipolazione di wafer

I componenti in ceramica di allumina sono utilizzati per parti rotanti in macchine fotolitografiche e in uno stato di vuoto. Ciò richiede una precisione di lavorazione estremamente elevata e il runout del cerchio interno deve essere compreso entro 2 micron. Le ceramiche fini sono diventate componenti chiave delle apparecchiature per semiconduttori. Soprattutto nelle macchine litografiche di fascia alta, per ottenere un'elevata precisione di processo, è necessario utilizzare ampiamente componenti ceramici con un buon composito funzionale, stabilità strutturale, stabilità termica ed elevata precisione dimensionale, come ad esempio l'E-chuck, il Vacumm-chuck, il blocco, lo scheletro in acciaio magnetico raffreddato ad acqua, il riflettore, la guida, ecc. Altre parti in ceramica di alta precisione utilizzate nell'industria dei semiconduttori Le ceramiche di precisione sono diventate componenti chiave delle apparecchiature per semiconduttori, compresi i forni a cristallo singolo, le apparecchiature per l'impiantazione ionica, le macchine per la fotolitografia, le apparecchiature CVD/PVD e le apparecchiature per il confezionamento e il collaudo.