Piastra di posizionamento di traslazione INV

XYZmultiasseguidata senza sfregamento

Panoramica
La piattaforma di movimento multi-asse con cuscinetto ad aria in ceramica ad altissima precisione di Innovacera utilizza allumina ad alta purezza per le guide principali e le superfici di riferimento di precisione. Abbinata a supporti con cuscinetti aerostatici, un'architettura multi-asse e sistemi di comando e feedback di posizione configurabili, fornisce una base di movimento stabile e senza contatto per ispezione di precisione, scansione ottica, apparecchiature per semiconduttori e sistemi di automazione.

Funzionamento
Durante il funzionamento, aria compressa filtrata forma un film d'aria uniforme tra i cuscinetti e le superfici guida in ceramica, permettendo ai componenti in movimento di operare senza contatto meccanico diretto. Rispetto alle guide a rulli convenzionali, la struttura con cuscinetti ad aria riduce l'attrito, il fenomeno stick-slip a bassa velocità, l'usura meccanica e le perturbazioni indotte dalla lubrificazione, contribuendo a migliorare la scorrevolezza della scansione continua, la costanza di velocità e la ripetibilità del moto.

Produzione e Precisione
I componenti ceramici principali possono essere rettificati, lappati e lucidati con precisione per controllare planarità, parallelismo, perpendicolarità, rugosità superficiale e riferimenti di montaggio critici. Le dimensioni della piattaforma, le configurazioni degli assi, i fori di montaggio, le interfacce pneumatiche e le interfacce di comando e feedback possono essere personalizzate in base allo spazio disponibile e ai requisiti di movimento.

Caratteristiche del prodotto

• Movimento senza contatto tramite cuscinetti ad aria
• Guide e superfici di riferimento in allumina ad alta purezza
• Controllo della precisione geometrica a livello di micron
• Scansione fluida e controllo stabile della velocità
• Conservazione della precisione a lungo termine
• Adatta ad ambienti puliti a bassa contaminazione
• Architettura multi-asse configurabile

Specifiche
Platform Series | Size Class | Flatness | Parallelism | Perpendicularity | Remarks
INV Series | 600 Series | 2 μm | 2 μm | 2 μm | Customized
INV Series | 800 Series | 2 μm | 2 μm | 2 μm | Customized
INV Series | 1200 Series | 2 μm | 2 μm | 2 μm | Customized

Applicazioni tipiche
Metrologia di precisione e apparecchiature di ispezione
Utilizzata come modulo di movimento per ispezione dimensionale di precisione, misurazione del profilo superficiale, misurazione senza contatto, scansione con sonda e macchine di misura a coordinate (CMM).

Ispezione di semiconduttori e wafer
Impiego per ispezione di wafer, scansione di substrati, ispezione di fotomaschere, controllo package e piattaforme di posizionamento e movimentazione di precisione nelle apparecchiature per semiconduttori.

Sistemi ottici e fotonici
Usata per allineamento del fascio, ispezione delle lenti, misure interferometriche, accoppiamento di fibre, scansione di componenti ottici e assemblaggio/allineamento di dispositivi fotonici.

Processi laser e micro/nanofabbricazione
Impiego in taglio laser, marcatura laser, microlavorazione, esposizione di precisione e altri sistemi di processo che richiedono velocità di scansione stabile.

Ispezione di pannelli display ed elettronica
Usata per scansione, ispezione e posizionamento di substrati in vetro, pannelli display, PCB e componenti elettronici di precisione.

Assemblaggio automatizzato
Impiego in dosaggio ad alta precisione, posizionamento, allineamento, pick-and-place, assemblaggio e ispezione in linea.

Specifiche tecniche

• Materiale: allumina ad alta purezza (Al2O3) per guide e componenti di riferimento di precisione
• Tipo di cuscinetto: cuscinetti aerostatici che formano un film d'aria uniforme per movimento senza contatto
• Precisione geometrica: planarità, parallelismo e perpendicolarità controllati a ≤ 2 μm (come da tabella per INV Series 600/800/1200)
• Serie / Classi di dimensione: INV Series — 600, 800, 1200 (personalizzabile)
• Trattamento superficiale: rettifica, lappatura e lucidatura di precisione per controllare rugosità e riferimenti
• Architettura di movimento: piattaforme multi-asse configurabili (X/Y/Z/θ)
• Prestazioni: scansione fluida, controllo stabile della velocità, bassa frizione, riduzione di stick-slip e usura
• Ambiente: adatta ad ambienti puliti e a bassa contaminazione
• Personalizzazione: dimensioni della piattaforma, corsa, schemi di fori di montaggio, interfacce pneumatiche, interfacce di comando e feedback adattabili