Ceramica ad anello

dischiin alluminadi protezione

Disco di allumina e anello di bordo in ceramica per il supporto di wafer di semiconduttori I componenti ceramici di alta precisione migliorano la gestione della resa nella lavorazione dei wafer di semiconduttori. I componenti ceramici Innovacera garantiscono una precisa stabilità dimensionale, ultrapiattezza e levigatezza, nonché la tenuta sotto vuoto dei wafer durante l'ispezione e la lavorazione. Le configurazioni a basso contatto con la superficie riducono al minimo il rischio che le particelle sul lato posteriore influenzino negativamente la geometria del wafer per le applicazioni di precisione. L'anello in ceramica di INNOVACERA presenta i seguenti vantaggi: 1. Resistenza all'usura e all'abrasione: L'allumina è una ceramica tecnica tenace con un'ottima resistenza all'usura. 2. Dimensioni di alta precisione con tolleranza di serraggio, facilita l'ottenimento di un rapporto di montaggio perfetto. 3. Inerzia chimica: resiste alla maggior parte degli acidi e degli alcali forti. 4. Capacità di resistere alle alte temperature: sopporta fino a 1600°C in atmosfere ossidanti e riducenti. 5. Ottime proprietà meccaniche: durezza, resistenza alla compressione e alla flessione sono molto più elevate nell'acciaio inossidabile. 6. Isolamento elettrico: La rottura dell'isolamento è di almeno 20KV. 7. Atmosfere protettive o alto vuoto ad alte temperature per eliminare la contaminazione o l'impurità. 8. Resistenza alla corrosione chimica ad alte temperature, anche con acidi o alcali forti. 9. Basso costo del materiale in applicazioni di alto livello rispetto ad altre ceramiche tecniche.