Piastre di posizionamento vuoto-compatibile STEINMEYER

Corsa: 1 mm - 40 mm
Velocità: 1 mm/s - 200 mm/s
Ripetibilità: 0,3 µm - 5 µm

... Applicazioni ad alta risoluzione e scansione veloce Vantaggi: Posizionamento veloce in UHV, anche in verticale Caratteristiche: Risoluzione eccezionale, molto sottile, con motore interno - Vuoto: tutte ...

Corsa: 1 mm - 100 mm
Velocità: 1 mm/s - 10 mm/s
Ripetibilità: 0,4 µm - 5 µm

... Caratteristiche: vite a piombo con lubrificazione a secco o vite a sfera con freni piezoelettrici a liquido per la stabilità in nm - Vuoto: tutte le gamme HV / UHV / EUV fino a 10E-11 mbar - Magnetismo: magnetico - Lubrificazione: ...

Corsa: 1 mm - 300 mm
Velocità: 1 mm/s - 10 mm/s
Ripetibilità: 0,015 µm - 5 µm

... nanometrico Applicazione: scansione Vantaggi: posizionamento nanometrico, anche in verticale Caratteristiche: posizionamento con estrema risoluzione e massima rigidità può essere equipaggiato con 2 (o ...

Corsa: 1 mm - 185 mm
Velocità: 1 mm/s - 8,4 mm/s
Ripetibilità: 0,4 µm - 5 µm

... secco - Caratteristiche: vite a piombo con lubrificazione a secco o vite a sfere con lubrificante liquido - Vuoto: tutti i campi di pressione HV / UHV fino a 10E-9 mbar - Magnetismo: magnetico - Lubrificazione: ...

Corsa: 1 mm - 10 mm
Velocità: 0,2 mm/s - 10 mm/s
Ripetibilità: 0,2 µm - 5 µm

... risoluzione Applicazione: microstadio multiuso Vantaggi: per la scansione ad alta risoluzione Caratteristiche: posizionamento ad altissima risoluzione - Vuoto: tutti i campi di pressione HV /UHV fino ...

Corsa: 1 mm - 50 mm
Velocità: 1 mm/s - 50 mm/s
Ripetibilità: 0,3 µm - 5 µm

... alta risoluzione Applicazione: stadio XY a vuoto Vantaggi: veloce e ad alta risoluzione Caratteristiche: parametri per l'imbardata e il beccheggio tre volte migliori rispetto alla variante con apertur - Vuoto: ...

Corsa: 1 mm - 100 mm
Velocità: 1 mm/s - 10 mm/s
Ripetibilità: 0,4 µm - 5 µm

... elevata durata nonostante il lubrificante a secco Caratteristiche: durata elevata nonostante la lubrificazione a secco - Vuoto: tutte le gamme HV / UHV / EUV fino a 10E-11 - Liquido di lubrificazione fino a 10E-11 - ...

Corsa: 1 mm - 16 mm
Velocità: 1 mm/s - 2,2 mm/s
Ripetibilità: 1 µm - 5 µm

... di precisione per carichi elevati Applicazione: stadio di sollevamento a vuoto Vantaggi: elevata rigidità e carico Caratteristiche: cuneo con vite a ricircolo di sfere - Vuoto: tutte le gamme HV / UHV ...

Corsa: 1 mm - 16 mm
Velocità: 1 mm/s - 16,6 mm/s
Ripetibilità: 0,7 µm - 5 µm

... sollevamento ad alta apertura di carico Applicazione: stadio di sollevamento a vuoto Vantaggi: - elevata rigidità e carico, apertura Caratteristiche: piattaforma a cuneo con apertura - Vuoto: tutte ...

Corsa: 1 mm - 25 mm
Velocità: 1 mm/s - 3,4 mm/s
Ripetibilità: 0,3 µm - 5 µm

... di precisione per carichi elevati Applicazione: Stadio di sollevamento a vuoto Vantaggi: elevata rigidità e carico Caratteristiche: cuneo con mandrino a vite a sfera - Vuoto: tutte le gamme HV / UHV ...