Magnetron rotativo

cilindrico

I gruppi completi, sia drop-in che a montaggio laterale, sono disponibili con tubi di supporto da 3″ (75 mm) o 5″ (125 mm) in lunghezze fino a quattro metri e con una distanza minima tra le sorgenti sono disponibili array multipli in linea per sistemi di produzione compatti ad alta produttività. ONYX-Revolution™ utilizza un design del magnete universale ed economico, con tempi di risposta personalizzati per adattarsi a qualsiasi tipo di target. Inoltre, è stato progettato con componenti di serie per garantire un investimento a lungo termine e un'affidabilità a basso costo. La tecnologia brevettata del magnete profilato di Angstrom Sciences crea un profilo di deposizione più vicino alla norma tra la sorgente e il substrato. Il profilo di deposizione migliorato consente di ridurre l'accumulo di detriti sulle pareti della camera. Inoltre, l'array di magneti di Angstrom Sciences offre un'intensità di campo magnetico più elevata, che consente all'utente di eseguire il processo di sputtering a una potenza inferiore per ottenere tassi di deposizione tipici. Di per sé, i magnetron cilindrici possono contenere una quantità di materiale target fino a tre volte superiore a quella di un magnetron planare con la stessa area spaziale. ONYX-Revolution™ di Angstrom Sciences ottimizza ulteriormente l'investimento in materiale con un utilizzo del target fino all'85%. Inoltre, il funzionamento a livelli di potenza inferiori consente un risparmio energetico tipico del 20%.