Magnetron rotativo

cilindrico

Angstrom Sciences offre magnetroni all’avanguardia per praticamente qualsiasi processo di sputtering standard. Ma sappiamo bene che ogni applicazione è diversa. Ecco perché abbiamo sviluppato un approccio modulare unico nel suo genere, in grado di adattarsi specificamente alle vostre specifiche. I magnetroni cilindrici godono da tempo della fiducia del settore del rivestimento del vetro per la creazione di film sottili uniformi, massimizzando al contempo l’utilizzo del bersaglio. Ora, Angstrom Sciences ha creato un magnetrone cilindrico compatto, leggero ed economico, progettato specificamente per offrire questi stessi vantaggi alle applicazioni relative a schermi piatti, celle solari e rivestimento a nastro. Progetti personalizzati Sono disponibili assemblaggi completi sia nella versione “drop-in” che a montaggio laterale, con tubi di supporto da 3″ (75 mm) o 5″ (125 mm) di diametro e lunghezze fino a quattro metri; grazie alla distanza minima tra le sorgenti, sono disponibili configurazioni a più array in linea per sistemi di produzione compatti ad alta produttività. Un investimento economico e pienamente compatibile ONYX-Revolution™ utilizza un design magnetico universale ed economico, con tempi di consegna personalizzati per adattarsi a qualsiasi tipo di bersaglio. Inoltre, è progettato con componenti disponibili in commercio per garantire un investimento a basso costo, affidabilità e durata nel tempo. Tecnologia brevettata La tecnologia brevettata dei magneti profilati di Angstrom Sciences crea un profilo di deposizione più uniforme tra la sorgente e il substrato. Il profilo di deposizione migliorato riduce l’accumulo di detriti sulle pareti della camera. Inoltre, la matrice di magneti di Angstrom Sciences offre una maggiore intensità del campo magnetico, consentendo all’utente di eseguire il processo di sputtering a potenza inferiore per ottenere velocità di deposizione tipiche.