Magnetron pulsato

circolare

I magnetron a raffreddamento indiretto incorporano una parete intermedia tra l'acqua di raffreddamento del catodo circolare e il target di sputtering. Questa parete crea una tenuta permanente tra l'acqua e il vuoto, impedendo le perdite che potrebbero verificarsi se il bersaglio viene "sputato" I magnetron circolari a raffreddamento indiretto di Angstrom Sciences da 1″- 4″ (25mm-100mm) incorporano un morsetto filettato per il target e uno schermo anodico che si adattano a target di sputtering di spessore variabile. La sostituzione del target sul design filettato è facile e veloce e non richiede strumenti o dispositivi ausiliari. Inoltre, il morsetto del bersaglio filettato e lo schermo anodico creano una testa di magnetron circolare compatta. Ciò consente ai magnetroni circolari di Angstrom Sciences di essere inseriti in camere a vuoto ristrette e di effettuare lo sputtering di un substrato più grande rispetto alla sua superficie rispetto ai magnetroni convenzionali. I magnetroni a raffreddamento indiretto sono consigliati per le applicazioni a bassa potenza e sono una scelta ideale per le applicazioni di ricerca e sviluppo. Per ulteriori informazioni sui magnetroni a raffreddamento indiretto, chiamateci al numero 412-469-8466 o contattateci online.