Magnetron pulsato

circolare

I magnetroni a raffreddamento indiretto incorporano una parete intermedia tra l’acqua di raffreddamento del catodo circolare e il bersaglio di sputtering. Questa parete crea una tenuta permanente tra l’acqua e il vuoto, impedendo le perdite che potrebbero verificarsi se il bersaglio venisse “perforato” dallo sputtering. I magnetroni circolari a raffreddamento indiretto da 1″ a 4″ (25 mm-100 mm) di Angstrom Sciences sono dotati di un morsetto filettato per il bersaglio e di uno schermo anodico regolabili in base a bersagli di sputtering di diverso spessore. La sostituzione del bersaglio, grazie al design filettato, è rapida e semplice e non richiede strumenti o dispositivi ausiliari. Inoltre, il morsetto filettato per il bersaglio e lo schermo anodico creano una testa del magnetrone circolare compatta. Ciò consente ai magnetroni circolari di Angstrom Sciences di adattarsi a camere a vuoto di dimensioni ridotte e di sottoporre a sputtering substrati con una superficie maggiore rispetto ai magnetroni convenzionali. I magnetroni a raffreddamento indiretto sono consigliati per applicazioni a bassa potenza e rappresentano la scelta ideale per applicazioni di ricerca e sviluppo.