Magnetron pulsato

su misuracircolare

I magnetroni circolari di Angstrom Sciences sono ormai riconosciuti come lo standard del settore dello sputtering grazie all’Angstrom Advantage™ e a una serie di altre caratteristiche progettuali che offrono possibilità pressoché illimitate in termini di configurazione e prestazioni di processo. Design versatile e compatto Il loro design compatto rende i nostri magnetroni circolari ideali per qualsiasi applicazione nuova o di retrofit, compresi i gruppi di magnetroni più complessi per le camere a vuoto più piccole. Compatibilità totale di potenza Le testate a bassa impedenza garantiscono compatibilità con potenza RF, CC, CC a media frequenza, CC pulsata, HiPIMS e microonde. Raccordi standard Utilizziamo raccordi standard ISO NW, nonché flange con tenuta metallica Conflat®. Tutte le utenze sono mantenute a pressione atmosferica e sono accessibili tramite raccordi a compressione con O-ring standard per una facile installazione in qualsiasi sistema a vuoto. Gamma completa di dimensioni Le sorgenti magnetron circolari sono disponibili con diametri del bersaglio da 1″ (25 mm) a 16″ (406 mm) e oltre, sia in configurazioni standard che personalizzate. Sostituzione rapida e semplice del bersaglio Il nostro morsetto filettato brevettato per il bersaglio e lo schermo dell’anodo sui nostri catodi circolari di piccole dimensioni consentono di sostituire i bersagli senza l’uso di strumenti ausiliari. La loro regolabilità integrata permette inoltre di montare bersagli di diverso spessore senza ricorrere a dispositivi distanziatori. Pressione ridotta, alta potenza I magnetroni ONYX® possono funzionare a pressioni estremamente basse (fino all’intervallo di 10⁻⁴ Torr) e i nostri modelli a raffreddamento diretto sono in grado di erogare densità di potenza fino a 250 watt/pollice quadrato (30 watt/cm²) in funzionamento continuo.