Magnetron pulsato

su misuracircolare

I magnetron circolari di Angstrom Sciences sono diventati lo standard del settore dello sputtering grazie all'Angstrom Advantage™ e a una serie di altre caratteristiche di progettazione che offrono possibilità quasi illimitate di configurazione e prestazioni di processo. Il loro design compatto rende i nostri magnetron circolari ideali per qualsiasi applicazione nuova o retrofit, compresi i gruppi più complessi per le camere da vuoto più piccole. Le teste a bassa impedenza garantiscono la compatibilità con la potenza RF, DC, DC a media frequenza, DC pulsata, HiPIMS e microonde. Utilizziamo raccordi standard ISO NW e flange a tenuta metallica Conflat®. Tutte le utenze sono mantenute in atmosfera e sono accessibili tramite raccordi a compressione O-ring standard per una facile installazione in qualsiasi sistema a vuoto. Le sorgenti magnetroniche circolari sono disponibili con diametri da 1″ (25 mm) a 16″ (406 mm) e diametri maggiori, in configurazioni standard o personalizzate. Il morsetto filettato brevettato e lo schermo anodico dei nostri piccoli catodi circolari consentono di cambiare bersaglio senza l'uso di strumenti ausiliari. La loro regolabilità incorporata consente inoltre di adattare bersagli di spessore diverso senza l'uso di dispositivi di distanziamento. I magnetron ONYX® possono funzionare a pressioni estremamente basse (fino a 10-4 Torr) e i nostri progetti a raffreddamento diretto possono fornire densità di potenza fino a 250 watt/in2 (30 watt/cm2) in funzionamento continuo.