Magnetron pulsato

rotativo

Angstrom Sciences è conosciuta a livello internazionale per la tecnologia all'avanguardia che apporta alle applicazioni di sputtering con magnetron. Ora abbiamo sviluppato un metodo per adattare i magnetron esistenti di tipo MRC con il nostro magnete profilato brevettato, portando l'Angstrom Advantage™ al vostro processo. Soluzione economica Un retrofit del magnete MRC offre i vantaggi prestazionali della nostra tecnologia a magnete profilato a circa un terzo del costo di sostituzione dell'intero gruppo MRC esistente. -Magneti completamente incapsulati -Flusso d'acqua turbolento -Maggiore efficienza termica -Design rapido e semplice da installare -Integrazione senza problemi -Array ad alto utilizzo - 35% e più di utilizzo target -Array ad alta uniformità - Aumento della zona di uniformità con un sacrificio minimo dell'utilizzo -Array ad alta magnitudo - Ottimizzato per lo sputtering di nichel con spessore fino a 0,500″ -Aggiornamenti di stile MRC Inset -Conversioni del bersaglio a morsetto -Larghezza del bersaglio personalizzata 1,0"/ 1,5"/ 2,0"/ 3,0 -Due bersagli in un unico spazio esistente. -Spartiti completi per qualsiasi catodo.