Magnetron circolare

Per le applicazioni che richiedono un'esposizione prolungata del substrato a temperature elevate, i magnetron circolari ad alta temperatura di Angstrom Sciences sono ottimizzati con isolatori in ceramica e guarnizioni sottovuoto che consentono al catodo di mantenere i parametri di prestazione in condizioni di calore elevato. Sono disponibili modelli ad alta temperatura che funzionano a 200, 300 e 450 gradi Celsius. I magnetron circolari ad alta temperatura sono progettati per pressioni di base nell'intervallo 10-9mTorr e sono appositamente studiati per consentire le variazioni che possono verificarsi durante i cicli termici senza perdite o deviazioni della qualità del film.