Angstrom Sciences è rinomata a livello internazionale per la tecnologia all’avanguardia che apporta alle applicazioni di sputtering con magnetron. Ora abbiamo sviluppato un metodo per adeguare i vostri magnetron cilindrici esistenti con il nostro design brevettato di magneti profilati, portando l’Angstrom Advantage™ nel vostro processo.
Soluzione economica
L’adeguamento con magneti cilindrici offre tutti i vantaggi sopra elencati a circa un terzo del costo necessario per sostituire il vostro gruppo cilindrico esistente.
•Magneti completamente incapsulati in acciaio inossidabile >
•Flusso d’acqua ad alta efficienza
•Compatibile con tutti i modelli di target esistenti
•Integrazione perfetta
•Uniformità regolabile
•I tempi di ciclo avanzati garantiscono profili di erosione più uniformi
•Il profilo di deposizione migliorato riduce l’accumulo di detriti sulle pareti della camera
•Una maggiore intensità di campo consente di raggiungere la velocità di deposizione tipica a livelli di potenza inferiori
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