Magnetron piano

cilindrico

Angstrom Sciences è conosciuta a livello internazionale per la tecnologia all'avanguardia che apporta alle applicazioni di sputtering con magnetron. Ora abbiamo sviluppato un metodo per adattare i magnetroni cilindrici esistenti con il nostro magnete profilato brevettato, portando il vantaggio Angstrom™ al vostro processo. Soluzione economica Il retrofit di un magnete cilindrico offre tutti i vantaggi di cui sopra a circa un terzo del costo di sostituzione del gruppo cilindrico esistente. -Magneti completamente incapsulati in acciaio inox -Flusso d'acqua ad alta efficienza -Compatibile con tutti i modelli di bersaglio esistenti -Integrazione senza problemi -Uniformità regolabile -L'avanzato turnaround produce profili di erosione più piatti -Il profilo di deposizione migliorato si traduce in un minore accumulo di detriti sulle pareti della camera -L'intensità di campo più elevata consente di raggiungere il tasso di deposizione tipico a livelli di potenza inferiori