I catodi di magnetron sputtering RF ad alta potenza possono essere implementati con successo in applicazioni di ricerca e sviluppo e di produzione, a condizione che nella costruzione siano incorporati criteri di progettazione specifici.
I magnetroni RF circolari ad alta potenza sono raffreddati direttamente e sono disponibili in diametri esterni da 2″-8″.
Poiché la potenza RF opera ad alta frequenza, è fondamentale che il catodo di sputtering del magnetron sia progettato per assorbire tale potenza. I magnetroni RF ad alta potenza di Angstrom Sciences sono progettati per erogare l'energia RF in modo uniforme sulla superficie del bersaglio, fornendo al contempo una bassa potenza riflessa e un confinamento RF.
I magnetroni RF ad alta potenza sono disponibili in configurazioni circolari e lineari.
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