Bersaglio di polverizzazione tungsteno

Angstrom Sciences offre una linea completa di magnetron UHV, tra cui il nostro "ONYX- UHV", caratterizzato da guarnizioni interamente in metallo, isolatori in ceramica e array di magneti smontabili. La struttura completamente saldata consente il bake-out a 450ºC. Il catodo circolare "ONYX- UHV" è disponibile con diametri da 1″ (25 mm) a 16″ (400 mm) ed è compatibile con tutti gli accessori, i set di magneti e le caratteristiche dei catodi ad alto vuoto ONYX standard. I catodi lineari ONYX-UHV sono disponibili anche in dimensioni personalizzate per soddisfare qualsiasi esigenza applicativa. Sono disponibili anche gli "ONYX- HT" (una variante ad alta temperatura del catodo ONYX standard, con isolatori interamente in ceramica per il funzionamento ad alta temperatura, che offre prestazioni "quasi" UHV). Questi magnetron sono compatibili con gli alimentatori CC, RF, CC pulsato e HiPIMS. È inoltre disponibile una gamma completa di opzioni, tra cui lunghezze di inserimento, otturatori, ingressi per il gas e schermi per la contaminazione incrociata.