Magnetron rotativo

su misuracircolare

I magnetron rotanti sono varianti di un magnetron circolare in cui il set di magneti è ruotato meccanicamente attorno a un asse centrale. Questa versione, originariamente sviluppata per le applicazioni dei semiconduttori, consente di rivestire in modo uniforme un substrato stazionario con il più piccolo diametro possibile del catodo. Altre applicazioni di questa tecnologia includono situazioni in cui il materiale ridepositato sulla superficie del bersaglio genera difetti nel film in crescita; in un magnetron rotante l'intera superficie del bersaglio viene pulita da un set di magneti che ruota tra 20 e 600 giri al minuto. Angstrom Sciences offre una gamma di magnetron rotanti con diametro da 4″ (100 mm) a 16″ (406 mm), progettati con una configurazione magnetica regolabile che consente di ottimizzare il processo e migliorare l'uniformità. I nostri magnetron possono essere montati in configurazioni interne o esterne. Un magnetron rotante offre un'eccellente uniformità senza movimenti del substrato. In combinazione con l'erosione a tutta superficie, i difetti causati dalla contaminazione del particolato sono estremamente ridotti. Questi magnetron possono essere integrati anche in macchine con spazio limitato, garantendo una maggiore flessibilità nell'applicazione.