Magnetron pulsato

su misuralineare

I magnetroni lineari di Angstrom Sciences incorporano i nostri magneti a terre rare NdFeB profilati, brevettati e completamente incapsulati, che distribuiscono il campo su tutta la superficie del bersaglio, aumentando l’utilizzo dello stesso e riducendo al minimo la contaminazione da particolato proveniente dalla superficie del bersaglio. Tutti i nostri catodi per sputtering a magnetrone sono inoltre dotati di un flusso d’acqua turbolento, che garantisce un trasferimento termico ottimale e riduce al minimo le disomogeneità dovute ai punti caldi sulla superficie del bersaglio. Queste caratteristiche, insieme a elementi quali gli ingressi integrati per il gas di processo, le pareti dell’anodo in materiale solido e l’uso di materiali all’avanguardia, assicurano prestazioni e affidabilità senza pari per il vostro processo di sputtering. Man mano che sempre più settori industriali scoprono la velocità, la controllabilità e i vantaggi economici della polverizzazione magnetronica, Angstrom Sciences sta sviluppando strumenti per massimizzare la resa di questi processi di produzione più grandi e veloci. Soluzioni su larga scala Per chi deve rivestire substrati estremamente larghi o deve raggiungere una produttività estremamente elevata, i magnetroni lineari offrono la soluzione in linea perfetta. Compatibilità totale di potenza Le testate a bassa impedenza garantiscono compatibilità con potenza RF, CC, CC a media frequenza, CC pulsata, HiPIMS e microonde. Raccordi standard Per il montaggio possiamo utilizzare raccordi standard ISO NW, flange con tenuta metallica Conflat® o flange personalizzate con tenuta a O-ring. Tutte le utenze sono tipicamente mantenute a pressione atmosferica e accessibili tramite raccordi a compressione standard con O-ring per una facile installazione in qualsiasi sistema a vuoto. Prestazioni comprovate Questi magnetroni offrono le prestazioni senza pari che hanno reso Angstrom Sciences il punto di riferimento del settore.