Magnetron

Nello sputtering a diodi non si utilizzano magneti e quindi non c'è un campo magnetico per contenere il plasma. Ciò significa che gli ioni del plasma fluiscono liberamente in tutto il sistema di vuoto ed erodono quasi l'intera superficie del target, aumentando l'utilizzo del target. Tuttavia, ciò significa anche che le particelle di film sputtered sono libere di muoversi all'interno della camera e non direttamente sul substrato. Ciò può aumentare significativamente il tempo di processo e, poiché non c'è confinamento degli elettroni, il substrato si riscalda maggiormente. Angstrom Sciences fornisce diodi per tutte le dimensioni dei catodi.