Panoramica del prodottoPhoton Pro è un bonder automatico ad alta precisione dotato di tecnologia brevettata di riconoscimento dei pattern look-through per un posizionamento accurato dei die. Supporta substrati di grandi dimensioni fino a 200 mm × 215 mm e integra OCR per la tracciabilità dei materiali. Il sistema offre bonding multi-chip, cambio automatico degli strumenti di bond con fino a 10 buffer e movimentazione automatica dei wafer con espulsore a 2 stadi per ottimizzare il flusso produttivo.
Applicazioni- Adatto a transceiver ottici e package sensori quali TOSA, ROSA, Mechanical Optical Interface (MOI), sensori 3D e sensori inerziali
Caratteristiche- Tecnologia brevettata di riconoscimento dei pattern look-through
- Bonding ad alta precisione
- Precisione di posizionamento XY: ± 3 µm @ 3σ*
- Precisione di rotazione del die: ± 0.1° @ 3σ*
- Gestione di substrati di grandi dimensioni: fino a 200 mm × 215 mm
- Tracciabilità dei materiali tramite OCR
- Capacità di bonding multi-chip
- Cambio automatico degli utensili di bond con fino a 10 buffer
- Cambio automatico dei wafer: supporta fino a 6 × 6 in OD Foton Ring con sistema di espulsione a 2 stadi
- Opzioni modulari per soddisfare i requisiti di diversi package multi-chip
Specifiche tecniche- Precisione di posizionamento XY: ± 3 µm @ 3σ*
- Precisione di rotazione del die: ± 0.1° @ 3σ*
- Dimensione massima del substrato: 200 mm × 215 mm
- Tracciabilità dei materiali: OCR (Optical Character Recognition)
- Capacità di bonding multi-chip
- Cambio automatico degli utensili di bond: fino a 10 buffer
- Cambio automatico dei wafer: supporta fino a 6 × 6 in OD Foton Ring con sistema di espulsione a 2 stadi
- Tecnologia brevettata di riconoscimento dei pattern look-through
- Opzioni modulari per vari package multi-chip
- Nota: tutte le prestazioni dipendono dal package e dai materiali