Sistema di posizionamento XYZ 782300:222.26
a ponteper ispezione Wafer e metrologiacon motore passo-passo

sistema di posizionamento XYZ
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Caratteristiche

Numero di assi
XYZ
Struttura
a ponte
Applicazioni
per ispezione Wafer e metrologia
Altre caratteristiche
di precisione, con motore passo-passo, manuale
Ripetibilità

Min.: 3,9 µm

Max.: 4,4 µm

Velocità

5 mm/s

Descrizione

Personalizzabile: - Ideale per l'ispezione delle superfici e la misurazione dello spessore del rivestimento di campioni di grandi dimensioni, fino a 650 x 650 mm - Misura precisa con ripetibilità fino a 2 µm - Buon rapporto qualità-prezzo grazie all'azionamento con motore passo-passo - Asse Z robusto e resistente per sensori fino a 20 kg - Adatto agli ambienti industriali, ad esempio polvere e fumo Questo sistema di ispezione è stato progettato appositamente per il controllo qualità automatizzato di campioni grandi e piatti fino a 50 kg. Il sistema di posizionamento consente il posizionamento simultaneo del sensore in Z e del campione in XY su un ingombro molto ridotto. Specifiche tecniche: - Standardkomponente: PLT240-SM (X) / PLT165-SM (Y) / PLT165-Manuell (Z) - Corsa: 650 mm (XY) / 100 mm (Z) - Ripetibilità: ± 3,9 - ± 4,4 µm (XYZ) - Velocità: 5 mm/s (XYZ) - Carico massimo: 300 N (X), 1000 N (Y) / 160 N (Z) - Azionamento: Motore passo-passo (XY) | manuale (Z) - Feedback: - Anello aperto (XY) Opzioni personalizzate: - Varie corse fino a 1000 mm - Con/senza telaio e piastra di base in granito o alluminio - Versioni ISO 14644-1 (fino alla classe 1 su richiesta), ad esempio con custodia e con sistema di scarico - Soluzioni personalizzate per il passaggio dei cavi - Disaccoppiamento delle vibrazioni adattato mediante strato di gomma smorzante o smorzatori pneumatici - Utilizzo immediato con controller preconfigurato, incluso un software esemplare

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