Personalizzabile:
- Ideale per la scansione tangenziale con opzioni di regolazione versatili
- Correzione dell'inclinazione e dell'offset laterale fino a 0,5 µm
- Apertura di 45 mm per la linea del fascio
- Stadio rotante a cuscinetto d'aria per precisioni fino a 0,0005°
Questo sistema di posizionamento consente la scansione tangenziale in 6 gradi di libertà con una ripetibilità molto elevata. Il supporto del campione, regolabile in messa a fuoco, angolo e distanza, è posizionato su un allineatore XYZ phi delta con apertura, che corregge l'inclinazione e lo spostamento laterale su 4 assi.
Specifiche tecniche:
- Sistema standard: DT250 (Rz) / MP200-5 (X, Y, Rx, Ry) / PMT160-DC-L (F) / PLT165-SM (Z)
- Corsa: n x 360 mm (Rz) / ±1,5 - ±2 mm (X, Y, Rx, Ry) / 90 mm (R) / 50 mm (F) / 100 mm (Z)
- Ripetibilità: 0,0005 - 0,001 µm (Rz) / ±0,5 - ±5,2 µm (X, Y, Rx, Ry) / 1 µm (R) / ±0,3 - ±0,4 µm (F) / ±3,9 - ±4,4 µm (Z)
- Velocità di posizionamento: 700-1400 mm/s (Rz) / 0,4 - 0,8 (XYZ) / 30-80 mm/s (FZ)
- Carico massimo: 20 N (Ry) / 40 N (F) / 150 N (Z)
- Motore: Motore lineare dinamico Iron Core (Rz) / Motore passo-passo (X, Y, Rx, Ry, Z) / manuale (R)
- Guida: Cuscinetto d'aria (Rz) / Stato solido, scatola di ingranaggi, vite di piombo (X, Y, Rx, Ry) / Guida scorrevole (R) / Cuscinetti a rulli incrociati, vite a sfera (F) / Guida profilata, vite a sfera (Z)
- Feedback: Scala angolare (Rz) / Loop aperto (XY, Rx, Ry, Z) / Skale (R) / Scala lineare (F)
- Apertura: Ø 45 mm
Opzioni personalizzate:
- Stadi standard combinabili per movimenti XYZ-Rx-Ry-Rz
- Configurazione individuale con telaio, isolamento dalle vibrazioni, custodia
- Adattamento al processo per sensore/testa di misura, supporto per campioni
- Versione per camera bianca, laboratorio e produzione
- Trasmissione wireless dell'alimentazione e del segnale
- Integrazione nei flussi di lavoro tramite controller PLC o PC
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