Sistema di posizionamento XZ 782300:186.26

2 assilineareper ispezione Wafer e metrologia

Sistema XZ per la lavorazione e la produzione di wafer Personalizzabile: - Ideale per l'impostazione e l'espansione della vostra applicazione - Ripetibilità estremamente precisa fino a 0,4 µm - Passi minimi e massima affidabilità a una velocità di posizionamento relativamente elevata di 50 mm/s - Perfetta planarità di ± 1 per il posizionamento di carichi medi fino a 5 kg La combinazione XZ è costituita dagli assi lineari standard ad alta precisione e durata del PMT160. Questa combinazione è adatta a tutte le applicazioni che richiedono una planarità perfetta, tolleranze minime per il passo e l'imbardata e un comportamento fluido. Specifiche: - Componente standard: PMT160-DC (XZ) - Corsa: 300 mm (X) / 100 mm (Z) - Ripetibilità: ± 0,4 - ± 2,2 µm (XZ) - Velocità di posizionamento: 25 mm/s (X) / 1,12 mm/s (Z) - Carico massimo: 45 N (X) / 150 N (Z) - Motore: Motore CC, vite a ricircolo di sfere - Feedback: Scala lineare Opzioni personalizzate: - Diverse corse per asse da 50 a 300 mm - Movimenti rotativi in combinazione con DT130 o DT200 - Diverse varianti di motore: Motore CC, motore passo-passo, motore lineare e nanomotion - Utilizzo immediato con controller preconfigurato, incluso un software esemplare - Versioni per camera bianca ISO 14644-1