Sistema di posizionamento XYZ 782300:113.26

lineareper ispezione Wafer e metrologiaper applicazioni di laboratorio

Sistema XYZ per l'ispezione di laboratori e wafer Personalizzabile: - Ideale per l'impostazione e l'espansione della vostra applicazione - Ripetibilità estremamente precisa fino a 0,5 µm - Passi minimi e massima affidabilità a una velocità di posizionamento relativamente elevata di 50 mm/s - Perfetta planarità di ± 0,5 µm per il posizionamento di carichi medi fino a 150 N Questa combinazione XY con unità verticale Z separata è costituita dagli assi lineari standard di alta precisione e durata del PMT160. Questa combinazione è adatta a tutte le applicazioni che richiedono una planarità perfetta, tolleranze minime per il passo e l'imbardata e un comportamento fluido. Specifiche: - Componente standard: PMT160-DC (XYZ) - Corsa: 300 mm (X) / 150 mm (Y) / 50 mm (Z) - Ripetibilità: ± 0,5 - ± 1,5 µm (XYZ) - Velocità di posizionamento: 25 mm/s (XYZ) - Carico massimo: 45 N (X) / 150 N (YZ) - Motore: Motore CC, vite a ricircolo di sfere - Feedback: Scala lineare Opzioni personalizzate: - Diverse corse per asse da 50 a 300 mm - Movimenti rotativi in combinazione con DT130 o DT200 - Diverse varianti di motore: Motore CC, motore passo-passo, motore lineare e nanomotion - Utilizzo immediato con controller preconfigurato, incluso un software esemplare - Versioni per camera bianca ISO 14644-1