Sistema di posizionamento 1 asse 782300:212.26

rotativoper ispezione Wafer e metrologiaper l'industria dei semiconduttori

X Sistema Phi per il posizionamento di lenti ottiche e cilindri Personalizzabile: - Ideale per la misurazione ottica di pezzi rotondi, ad esempio wafer, ottiche - Risparmia l'acquisto aggiuntivo di un asse di carico grazie ai movimenti rotatori ad alta precisione con corsa - Elevata ripetibilità fino a 0,0017 - Sposta con precisione 1,9 µm con X nella posizione di misura Questo sistema di posizionamento X-Phi è costituito dagli assi standard ad alta precisione e durata dello stadio lineare PMT160 e, per la rotazione, dal DTS130-HM. È ideale per le applicazioni di misura in cui il campione viene spostato con precisione nella posizione di misura e non è quindi necessario un asse di alimentazione aggiuntivo. Specifiche: - Sistema standard: PMT160-DC (X) / DTS130 (Phi (Rz)) - Corsa: 135 mm (X) / n x 360 mm (Phi (Rz)) - Ripetibilità: ± 1,9 - ± 2,4 µm (X) / ± 0,0017 - ± 0,005 µm (Phi (Rz)) - Velocità di posizionamento: 10 mm/s (X) / 50 mm/s (Phi (Rz)) - Carico massimo: 150 N (X) / 74 N (Phi (Rz)) - Motore: Motore DC, vite a sfera (XZ) / servo AC (Phi (Rz)) - Feedback: Scala lineare (XZ) / Scala angolare (Phi (Rz)) Personalizzabile: - Corsa fino a 300 mm - Piastra di base in granito o alluminio - Disponibile con scala interna (270 mm) - Combinabile con altri stadi rotanti, ad esempio DT200 - Possibilità di versioni per camera bianca ISO 14644-1 - Utilizzo immediato con il controllore preconfigurato, incluso un software esemplare