Sistema di posizionamento XYZ 782300:193.26

lineareper ispezione Wafer e metrologiaper controllo di qualità

Sistema XYZ per l'ispezione e il controllo qualità Personalizzabile: - Precisione e ripetibilità molto elevate fino a 0,3 µm - Posizionamento di carichi fino a 150 N con un azionamento economico - Velocità elevate fino a 50 mm/s - Riduzione al minimo degli errori casuali - Facile integrazione e combinazione flessibile con sistemi di telecamere e sensori esistenti Il sistema di posizionamento consente il posizionamento lungo tre assi lineari. In questa unità, uno stadio lineare PMT160 è montato su una tavola trasversale KT470 con una staffa di adattamento. Il sistema consente di ottenere bassi errori di runout, in termini di rettilineità e planarità, grazie all'utilizzo di rulli incrociati. Specifiche: - Corsa: 300 mm (XY) / 100 mm (Z) - Ripetibilità: ± 0,3 - ± 1,7 µm (XYZ) - Velocità di posizionamento: 25 mm/s (XY) - Carico massimo: 45 N (X) / 150 N (YZ) - Motore: Motore DC - Feedback: Scala lineare Opzioni personalizzate: - Diverse corse sull'asse Z da 50 a 300 mm - Diverse varianti di motore: Motore CC o motore passo-passo - Utilizzo immediato con il controllore preconfigurato, compreso il software esemplare - Versioni per camera bianca ISO 14644-1